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SEM掃描電鏡樣品制備之樣品熱穩性要好,且不會被電子束分解

日期:2023-07-17 13:43:31 瀏覽次數:58

電子束下樣品熱穩性要好,且不會被電子束分解。在掃描電鏡正常觀察圖像時,電子探針的束流通常為 nA 級別,所以對于大多數樣品,受熱不是問題。但對一些熱敏材料會出現損傷,觀察部位出現起泡、龜裂、孔洞(熱損傷),甚至有些樣品在高溫下分解,釋放氣體或物質(熱分解),當他們進入電鏡內部,勢必會影響電鏡性能,甚至引起故障。

 掃描電鏡.jpg

解決方案:

這類樣品多為生物和有機聚合物樣品,在表面鍍膜可以提高樣品的穩定性,觀察時也盡量選擇較小加速電壓和束流強度,以減少電子束對樣品的損傷。