影響SEM掃描電鏡成像的幾大要素介紹
日期:2023-10-08 09:25:15 瀏覽次數(shù):55
1、分辨率
影響掃描電鏡的分辨本領(lǐng)的主要因素有:A. 入射電子束束斑直徑;B. 入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng);C. 成像方式及所用的調(diào)制信號(hào)。
2、放大倍數(shù)
Sem掃描電鏡的放大倍數(shù)可表示為M =Ac/As式中,Ac—熒光屏上圖像的邊長(zhǎng);As—電子束在樣品上的掃描振幅。一般地,Ac 是固定的(通常為100 mm),則可通過(guò)改變As 來(lái)改變放大倍數(shù)。目前,大多數(shù)商品掃描電鏡放大倍數(shù)為20~20,000倍,介于光學(xué)顯微鏡和透射電鏡之間,即SEM掃描電鏡彌補(bǔ)了光學(xué)顯微鏡和透射電鏡放大倍數(shù)的空擋。
3、景深
掃描電子顯微鏡的景深比透射電子顯微鏡大10倍,比光學(xué)顯微鏡大幾百倍。由于圖像景深大,所得掃描電子像富有立體感。
4、襯度。襯度包括:表面形貌襯度和原子序數(shù)襯度。表面形貌襯度由試樣表面的不平整性引起。
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