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你知道為什么SEM掃描電鏡需要真空環境

日期:2023-11-09 13:42:10 瀏覽次數:97

掃描電鏡需要處于真空環境的原因有以下幾點:

減少電子散射:在真空中,減少了電子束與氣體分子的相互作用,這有助于減少電子的散射,提高成像的分辨率和清晰度。在大氣壓力下,電子會與氣體分子發生散射,使圖像變得模糊。

掃描電鏡.jpg

電子束的傳輸:SEM掃描電鏡使用電子束來掃描樣品表面,而電子束在大氣中會與氣體分子相互碰撞,導致電子的散射和吸收,從而影響成像質量。在真空環境中,氣體分子的密度較低,幾乎沒有碰撞,電子束可以更容易地穿透到樣品表面。

避免沉積和污染:在真空環境中,避免了空氣中的微粒和氣體分子沉積在掃描電鏡的透鏡、樣品表面或探測器上,減少了系統的污染和修復需求。

防止樣品氣化:在高真空下,防止樣品因受熱而氣化。當電子束掃描樣品表面時,樣品表面可能會因加熱而釋放出氣體或蒸發,這會導致成像的干擾和失真。在真空環境中,這種現象得到減輕。

電子束對真空管的穩定性:掃描電鏡中的電子光源通常是由熱陰極或場發射極產生的,這些光源需要在真空條件下穩定運行。